中(zhong)國環境(jing)報見習記者 丁(ding)波 記者 蔡新華 上海(hai)被賦予打造集成電路(lu)產業高地的(de)重大任(ren)務，隨(sui)著(zhu)產業規(gui)模(mo)逐步擴(kuo)大，廢(fei)酸環境(jing)無害化處置成為突出問題。據了解，上海(hai)通過 “點對點”資源化定向再利用創新模(mo)式已破(po)解這一難題。

　　日前，一輛掛(gua)有危險標識的(de)罐裝運輸車穩(wen)(wen)穩(wen)(wen)駛入廠區，公司(si)(si)專職管理(li)員引(yin)導車輛，過磅、取樣、檢(jian)驗、聯單簽收……一系列流程后(hou)，車被引(yin)導至專用(yong)卸車區，車上(shang)的(de)特(te)殊液(ye)體被接收到公司(si)(si)的(de)原料(liao)儲料(liao)罐中，等(deng)待用(yong)于后(hou)續的(de)生產。

　　這是記者在位于金山第二工業區內的上海澎博(bo)鈦白粉有限公司(以(yi)下簡稱澎博(bo)公司)看到的場景。罐裝車內裝運(yun)的是液(ye)體硫(liu)(liu)酸，它(ta)的特殊性(xing)在于是上游集成電路芯片(pian)生產(chan)企業使用過(guo)的廢(fei)棄硫(liu)(liu)酸。

　　在現場，公(gong)司(si)負責人何文(wen)龍告訴記者，公(gong)司(si)是(shi)上海市集成電(dian)路芯(xin)片行業產生的廢硫酸(suan)(suan)資源化利用定點單位，每天安排專用車輛(liang)將廢酸(suan)(suan)運回工廠，經過嚴格(ge)的檢驗流程后再投入到(dao)鈦白(bai)粉生產當中，今年1月-7月已處置(zhi)利用廢酸(suan)(suan)1.5萬(wan)噸。

　　新(xin)模式解決行(xing)業發展難題

　　據上海(hai)市生態(tai)環境局(ju)相關負責人介紹，上海(hai)首創的廢(fei)(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)“點(dian)對點(dian)”資源(yuan)化定向再利用模式運(yun)用逐步成(cheng)熟(shu)，目前(qian)已經(jing)全部(bu)覆(fu)蓋(gai)了(le)上海(hai)具備回收廢(fei)(fei)酸(suan)條件的集(ji)成(cheng)電路芯片制造企業，總體上穩(wen)定地解決了(le)上海(hai)集(ji)成(cheng)電路芯片制造企業廢(fei)(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)處置問題。

　　據上海市集成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)行業協會(hui)相關負責人介紹，集成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)產業生(sheng)產過程中(zhong)會(hui)使用大量濃硫(liu)(liu)酸(suan)，排放以硫(liu)(liu)酸(suan)物質(zhi)為(wei)主，處(chu)理廢硫(liu)(liu)酸(suan)成(cheng)(cheng)本很(hen)高，同時會(hui)存在一定的生(sheng)態環境安全(quan)風(feng)險(xian)。這個問題成(cheng)(cheng)為(wei)阻礙(ai)行業發展的難題。

　　直面痛(tong)點。在上海(hai)市(shi)(shi)經濟和信息化委、上海(hai)市(shi)(shi)生(sheng)態環(huan)境局等相關部門的支持(chi)下，上海(hai)市(shi)(shi)固體廢(fei)物和化學品管理技術中(zhong)心、上海(hai)市(shi)(shi)集成電路行(xing)業協(xie)會積極探索，多次(ci)召(zhao)開(kai)專(zhuan)家研(yan)討會論證(zheng)處置方案，并于2016年(nian)開(kai)始由中(zhong)芯國際(ji)和澎博公(gong)司開(kai)展廢(fei)硫酸(suan)“點對(dui)點”資源化定向再(zai)利(li)用(yong)試(shi)(shi)點運(yun)行(xing)，經過(guo)多輪試(shi)(shi)點驗證(zheng)，最終(zhong)形(xing)成較為成熟的經驗。

　　去年，上(shang)海市集成(cheng)電路行業(ye)協會會同多部(bu)(bu)門專(zhuan)門編寫形成(cheng)了(le)《鈦白粉用集成(cheng)電路制(zhi)造行業(ye)廢硫酸(suan)》(T/SICA001-2020)團體標(biao)準，在上(shang)海市質量(liang)技術監督(du)部(bu)(bu)門網站和國(guo)家標(biao)準網上(shang)進行公示，全(quan)力保障廢酸(suan)源頭質量(liang)的把控(kong)。

　　多維(wei)度(du)再利用效(xiao)益明顯

　　廢(fei)(fei)硫酸(suan)“點對(dui)點”資源(yuan)化(hua)(hua)(hua)定向再利(li)用，這一新模(mo)式(shi)的環境(jing)效益、經濟效益和社(she)會效益都很顯著。相關專家告訴記(ji)者，模(mo)式(shi)的核心(xin)是實現集(ji)成電路制造過程(cheng)中(zhong)產生(sheng)的廢(fei)(fei)硫酸(suan)替(ti)代鈦(tai)(tai)白粉(fen)生(sheng)產工藝過程(cheng)中(zhong)用到的工業硫酸(suan)。經過試點驗證，這種模(mo)式(shi)技術可行性很強，廢(fei)(fei)酸(suan)再利(li)用單(dan)位在(zai)使(shi)用廢(fei)(fei)硫酸(suan)生(sheng)產鈦(tai)(tai)白粉(fen)時，不(bu)需要調整現有工藝。同時，替(ti)用過程(cheng)不(bu)增加(jia)額外的環境(jing)負擔與風(feng)險，不(bu)影響產品的質量(liang)(liang)，符(fu)合“固體廢(fei)(fei)物減量(liang)(liang)化(hua)(hua)(hua)、資源(yuan)化(hua)(hua)(hua)和無(wu)害化(hua)(hua)(hua)”原則(ze)。

　　談到(dao)(dao)經濟效益，這(zhe)位專家給記者算了一筆賬：澎(peng)(peng)博公司(si)再利用(yong)廢(fei)(fei)硫酸(suan)每噸收費(fei)500元，按照上海(hai)市往(wang)年(nian)廢(fei)(fei)硫酸(suan)處置費(fei)每噸2000元計(ji)(ji)算，今(jin)年(nian)1月至7月，澎(peng)(peng)博公司(si)累計(ji)(ji)利用(yong)廢(fei)(fei)硫酸(suan)1.5萬(wan)噸，集成電(dian)路生產企業(ye)可節約2250萬(wan)元。同時，澎(peng)(peng)博公司(si)也節省了購(gou)置工業(ye)濃硫酸(suan)的(de)費(fei)用(yong)，產廢(fei)(fei)企業(ye)和再利用(yong)企業(ye)達到(dao)(dao)了“雙贏”。

　　此(ci)外，新模式還符(fu)合循環(huan)經(jing)濟(ji)產(chan)業(ye)(ye)需(xu)求，不僅解(jie)決了(le)廢硫酸處(chu)置出路難(nan)、處(chu)置費用(yong)高的(de)(de)難(nan)題，降低了(le)企業(ye)(ye)生產(chan)成本和廢硫酸處(chu)理費用(yong)，還促(cu)進了(le)鈦白(bai)粉生產(chan)單位的(de)(de)升級改造、精準轉(zhuan)型和綠色發展(zhan)，為日后集成電路產(chan)業(ye)(ye)的(de)(de)蓬勃發展(zhan)鋪平了(le)道路。

　　深入推進“點對點”資(zi)源化再利用

　　“在(zai)探索(suo)推行這(zhe)一(yi)新模式的(de)過程(cheng)中，我們以守好環(huan)境底線為前提，做到嚴格把關，按程(cheng)序推進。”上海市(shi)生態環(huan)境局相(xiang)關負責人介紹，在(zai)前期提出設想并加以論證的(de)基礎上，他們于2016年發文，同意將中芯(xin)國際和(he)澎博(bo)公司設立為上海市(shi)首個廢硫(liu)(liu)酸定向再利用試點(dian)單(dan)位，利用芯(xin)片廢硫(liu)(liu)酸生產鈦(tai)白粉。

　　2019年11月，上(shang)(shang)海(hai)市生態環境局同意4家企業廢硫酸(suan)定向資(zi)(zi)源化再(zai)利(li)用備(bei)案(an)。2020年10月，上(shang)(shang)海(hai)市生態環境局擴大廢硫酸(suan)定向資(zi)(zi)源化再(zai)利(li)用備(bei)案(an)，新增(zeng)4家企業，全(quan)面覆(fu)蓋上(shang)(shang)海(hai)市具備(bei)回收(shou)廢酸(suan)條件的(de)集成電路制(zhi)造企業。

　　據介(jie)紹(shao)，目前，各(ge)方進(jin)展順利，各(ge)試點(dian)企業(ye)在嚴格(ge)執(zhi)行(xing)危險廢(fei)(fei)物各(ge)項管理(li)制度下，廢(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)源頭(tou)品質(zhi)得到保障，并(bing)委托具有(you)相關運輸資質(zhi)的單位專(zhuan)人專(zhuan)車進(jin)行(xing)運輸。澎博公司(si)在廢(fei)(fei)酸(suan)使用(yong)期(qi)間，生產運行(xing)穩(wen)定(ding)，各(ge)項污染物排放環(huan)保指(zhi)標檢測均符合排放標準。同時，澎博公司(si)對生產設備工藝進(jin)行(xing)優化改造，在末端形成(cheng)了可(ke)滿足近(jin)期(qi)集成(cheng)電路產業(ye)發展需求的每年6萬噸廢(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)利用(yong)能(neng)力(li)。

　　“十四(si)五”期間(jian)，上(shang)(shang)海的集成電路產量將快速(su)增(zeng)(zeng)長，需(xu)處(chu)置的廢硫(liu)酸(suan)量也將隨之增(zeng)(zeng)加。據最新統計，2020年產生廢酸(suan)1.25萬(wan)(wan)噸，2021年預計為2.8萬(wan)(wan)噸，到(dao)2022年上(shang)(shang)海芯片企(qi)業產生的廢硫(liu)酸(suan)將高達6萬(wan)(wan)噸，2025年將達到(dao)10萬(wan)(wan)噸以上(shang)(shang)。

　　面對這一形勢，上(shang)海各相關部門召開(kai)會(hui)議制定了“提前謀劃改造，形成需求匹配、長久穩定”的廢硫(liu)酸利用(yong)原(yuan)則。上(shang)海市發改委、上(shang)海市經濟和信息(xi)化委還專(zhuan)(zhuan)門組織專(zhuan)(zhuan)家(jia)隊伍到資(zi)源(yuan)化綜合利用(yong)企業(ye)澎(peng)博(bo)公司開(kai)展現場調(diao)研，了解情況，聽取企業(ye)和行業(ye)專(zhuan)(zhuan)家(jia)的意(yi)見和建議。

　　作為(wei)廢(fei)酸再(zai)利用定點企業(ye)，澎(peng)博(bo)公司也啟(qi)動(dong)了匹配廢(fei)酸資源化利用技改(gai)規劃，積極響應上(shang)級部門對澎(peng)博(bo)公司以廢(fei)定產、提前謀劃的要(yao)求，規劃“集成電路(lu)行業(ye)10萬(wan)噸廢(fei)酸資源化利用”技改(gai)。

　　在上(shang)海(hai)市人(ren)民政府近(jin)日印發(fa)的(de)《上(shang)海(hai)市2021-2023年(nian)生態環境(jing)保護和建(jian)設三年(nian)行動(dong)》文(wen)件上(shang)，記者也注意到相(xiang)關條(tiao)文(wen)：在環境(jing)可控的(de)前提下，持續推動(dong)集成(cheng)(cheng)電(dian)路行業(ye)(ye)廢酸(suan)等(deng)危險廢物“點對點”定(ding)向(xiang)資源化(hua)利(li)用(yong)工作，形(xing)成(cheng)(cheng)穩定(ding)的(de)與集成(cheng)(cheng)電(dian)路行業(ye)(ye)未來發(fa)展相(xiang)適應的(de)廢酸(suan)處置利(li)用(yong)能力。

　　據(ju)悉，未(wei)來，這種廢棄(qi)硫酸“點對(dui)點”資源化定向再利(li)用模式(shi)，將(jiang)有力保障我國集成(cheng)電(dian)路行(xing)業的(de)發(fa)展，也將(jiang)對(dui)其他行(xing)業的(de)危(wei)險廢物(wu)綜合利(li)用起(qi)到借鑒和引(yin)領作用。

來源：中國環境報