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上海廢棄硫酸實行“點對點”資源化利用

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【摘要】:

  中國環境(jing)報見習記者 丁波 記者 蔡(cai)新華 上海(hai)被賦予打造集成電路產業高(gao)地的重大任務,隨著產業規模逐步擴大,廢酸環境(jing)無害化處置成為(wei)突(tu)出問題。據(ju)了解,上海(hai)通過(guo) “點對點”資源化定向(xiang)再利用創新模式已破解這一(yi)難題。

  日前,一(yi)(yi)輛(liang)掛有危險標識的(de)罐裝運(yun)輸(shu)車穩(wen)穩(wen)駛入廠區,公司(si)專(zhuan)職(zhi)管理(li)員引(yin)導(dao)(dao)車輛(liang),過磅(bang)、取樣、檢驗、聯單簽收(shou)……一(yi)(yi)系列(lie)流程后,車被(bei)引(yin)導(dao)(dao)至專(zhuan)用卸車區,車上(shang)的(de)特殊液體(ti)被(bei)接(jie)收(shou)到公司(si)的(de)原料(liao)儲料(liao)罐中,等待用于后續的(de)生產。

  這是記者在(zai)位(wei)于金(jin)山第二工業(ye)區內的(de)上(shang)海澎博鈦白粉有限公(gong)司(以下簡稱澎博公(gong)司)看到的(de)場景(jing)。罐(guan)裝(zhuang)(zhuang)車內裝(zhuang)(zhuang)運(yun)的(de)是液體硫酸,它的(de)特殊性在(zai)于是上(shang)游集(ji)成電路芯片(pian)生產企(qi)業(ye)使(shi)用過的(de)廢棄(qi)硫酸。

  在現場,公司(si)負責人何文龍(long)告訴記者,公司(si)是上(shang)海市集成(cheng)電路芯片行(xing)業產生的廢(fei)硫酸(suan)資源(yuan)化利用(yong)定(ding)點(dian)單位,每天安排專用(yong)車輛將廢(fei)酸(suan)運回工(gong)廠(chang),經(jing)過嚴格的檢驗流程后再投(tou)入到鈦白粉(fen)生產當(dang)中,今年1月-7月已處置利用(yong)廢(fei)酸(suan)1.5萬噸。

  新模式解決(jue)行(xing)業(ye)發展難題

  據上(shang)(shang)海(hai)市(shi)生態(tai)環(huan)境(jing)局(ju)相(xiang)關負責人介(jie)紹(shao),上(shang)(shang)海(hai)首創(chuang)的(de)廢硫(liu)酸“點對點”資源化定(ding)(ding)向再利(li)用模式(shi)運用逐(zhu)步成(cheng)熟,目前已經全(quan)部(bu)覆(fu)蓋(gai)了上(shang)(shang)海(hai)具(ju)備回收廢酸條件的(de)集成(cheng)電路(lu)芯(xin)片(pian)制造企(qi)業,總體上(shang)(shang)穩定(ding)(ding)地解決(jue)了上(shang)(shang)海(hai)集成(cheng)電路(lu)芯(xin)片(pian)制造企(qi)業廢硫(liu)酸處置問題。

  據(ju)上海市集(ji)成電路行(xing)業協會(hui)相關負責人介紹,集(ji)成電路產業生(sheng)產過(guo)程中(zhong)會(hui)使用(yong)大(da)量濃硫(liu)酸(suan),排放(fang)以硫(liu)酸(suan)物質為(wei)主,處(chu)理廢硫(liu)酸(suan)成本很高,同時會(hui)存在一定的(de)生(sheng)態環境安全風(feng)險。這個問題(ti)成為(wei)阻礙行(xing)業發展(zhan)的(de)難題(ti)。

  直面痛點。在上海(hai)市(shi)經濟和信息(xi)化委(wei)、上海(hai)市(shi)生態環境局等相關部門的支持下(xia),上海(hai)市(shi)固體廢物和化學品管理技術中心、上海(hai)市(shi)集成電路行業協會(hui)積極探索(suo),多次召(zhao)開(kai)專家研討會(hui)論證處置方案(an),并于(yu)2016年(nian)開(kai)始由中芯國際和澎博公(gong)司(si)開(kai)展廢硫酸“點對點”資(zi)源(yuan)化定(ding)向再利用試點運(yun)行,經過多輪(lun)試點驗證,最(zui)終(zhong)形(xing)成較為(wei)成熟(shu)的經驗。

  去年,上海(hai)市集(ji)成電路行業(ye)協會會同多部門(men)專門(men)編(bian)寫(xie)形成了(le)《鈦(tai)白粉用集(ji)成電路制(zhi)造行業(ye)廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準,在上海(hai)市質(zhi)量技(ji)術(shu)監(jian)督部門(men)網站和國家標準網上進行公示,全力保障(zhang)廢酸源頭質(zhi)量的把控。

  多維度再利(li)用(yong)效益明(ming)顯

  廢(fei)硫酸(suan)“點(dian)對點(dian)”資(zi)源化定向再利用,這(zhe)一新模式的(de)(de)環境效(xiao)益(yi)、經濟效(xiao)益(yi)和社會效(xiao)益(yi)都(dou)很(hen)顯著。相關專家(jia)告訴記者,模式的(de)(de)核心是(shi)實現(xian)集成電(dian)路制造(zao)過程(cheng)中(zhong)產生(sheng)(sheng)的(de)(de)廢(fei)硫酸(suan)替代鈦白(bai)(bai)粉生(sheng)(sheng)產工藝過程(cheng)中(zhong)用到的(de)(de)工業硫酸(suan)。經過試點(dian)驗證,這(zhe)種模式技(ji)術可行性很(hen)強,廢(fei)酸(suan)再利用單位在使用廢(fei)硫酸(suan)生(sheng)(sheng)產鈦白(bai)(bai)粉時,不(bu)需要調整(zheng)現(xian)有工藝。同時,替用過程(cheng)不(bu)增加(jia)額外的(de)(de)環境負(fu)擔與(yu)風險,不(bu)影響產品的(de)(de)質量,符(fu)合“固體廢(fei)物(wu)減(jian)量化、資(zi)源化和無害化”原則。

  談到(dao)經濟效益,這(zhe)位專家給記(ji)者算了一(yi)筆賬:澎(peng)博公司(si)再(zai)利用(yong)廢(fei)硫(liu)酸(suan)每(mei)噸收費(fei)500元,按照上海(hai)市往年廢(fei)硫(liu)酸(suan)處(chu)置費(fei)每(mei)噸2000元計(ji)(ji)算,今年1月至7月,澎(peng)博公司(si)累計(ji)(ji)利用(yong)廢(fei)硫(liu)酸(suan)1.5萬噸,集成(cheng)電路生產企(qi)業可節(jie)約2250萬元。同時,澎(peng)博公司(si)也節(jie)省了購置工業濃硫(liu)酸(suan)的(de)費(fei)用(yong),產廢(fei)企(qi)業和再(zai)利用(yong)企(qi)業達(da)到(dao)了“雙贏”。

  此外,新模(mo)式還符合循環(huan)經濟產(chan)業需求,不僅解決了廢硫酸(suan)處置(zhi)出(chu)路難、處置(zhi)費(fei)用(yong)高的難題(ti),降低了企業生(sheng)產(chan)成本和廢硫酸(suan)處理費(fei)用(yong),還促進了鈦白(bai)粉生(sheng)產(chan)單位的升級改造、精(jing)準轉型和綠色發展,為日(ri)后集成電路產(chan)業的蓬勃發展鋪平了道路。

  深入推進(jin)“點(dian)對點(dian)”資源化再利用

  “在探(tan)索推(tui)行這一(yi)新模式的(de)過程(cheng)中,我們以守好環境(jing)底(di)線為(wei)前(qian)提(ti),做到嚴(yan)格(ge)把關(guan)(guan),按程(cheng)序推(tui)進。”上(shang)海市(shi)(shi)生態環境(jing)局(ju)相關(guan)(guan)負責人介紹,在前(qian)期提(ti)出設想并(bing)加以論證的(de)基礎上(shang),他們于2016年(nian)發文,同意將中芯國際(ji)和澎博公司設立為(wei)上(shang)海市(shi)(shi)首個廢(fei)硫(liu)酸(suan)定向再利用試點單位,利用芯片廢(fei)硫(liu)酸(suan)生產(chan)鈦白粉。

  2019年11月,上(shang)海市(shi)(shi)生(sheng)態環境(jing)局同意4家企業(ye)(ye)廢硫酸定向資源化(hua)再(zai)利(li)用備(bei)案。2020年10月,上(shang)海市(shi)(shi)生(sheng)態環境(jing)局擴大廢硫酸定向資源化(hua)再(zai)利(li)用備(bei)案,新增4家企業(ye)(ye),全面(mian)覆蓋上(shang)海市(shi)(shi)具備(bei)回收廢酸條件的集成電路制造企業(ye)(ye)。

  據介(jie)紹,目前,各方(fang)進展順(shun)利,各試點企業在(zai)嚴格執行危險廢(fei)(fei)物各項(xiang)(xiang)管理制度下(xia),廢(fei)(fei)硫酸源頭品質得到保障,并(bing)委托具有相(xiang)關運(yun)輸資質的單位專人專車進行運(yun)輸。澎博公司在(zai)廢(fei)(fei)酸使(shi)用期(qi)間,生(sheng)產運(yun)行穩定(ding),各項(xiang)(xiang)污染(ran)物排(pai)放(fang)環保指(zhi)標檢測均符合排(pai)放(fang)標準。同時,澎博公司對生(sheng)產設備工藝進行優(you)化改造,在(zai)末端形成了可滿足近期(qi)集成電路(lu)產業發展需求(qiu)的每年6萬噸(dun)廢(fei)(fei)硫酸利用能力。

  “十四五”期間,上海的(de)集成電(dian)路產(chan)量(liang)將快(kuai)速增長,需處置(zhi)的(de)廢(fei)硫酸(suan)量(liang)也(ye)將隨之增加。據最新統計(ji),2020年產(chan)生廢(fei)酸(suan)1.25萬(wan)噸,2021年預計(ji)為2.8萬(wan)噸,到2022年上海芯片企業(ye)產(chan)生的(de)廢(fei)硫酸(suan)將高達6萬(wan)噸,2025年將達到10萬(wan)噸以(yi)上。

  面對這一形勢,上海(hai)(hai)各(ge)相關部門召開(kai)會(hui)議(yi)制定了“提前(qian)謀(mou)劃改造,形成需求(qiu)匹配、長久穩定”的廢硫酸利用(yong)原(yuan)則。上海(hai)(hai)市(shi)發改委、上海(hai)(hai)市(shi)經濟和(he)信息化委還專門組(zu)織專家隊伍到資(zi)源化綜合利用(yong)企(qi)業(ye)澎博公司開(kai)展現場調研,了解情況,聽取企(qi)業(ye)和(he)行(xing)業(ye)專家的意見和(he)建(jian)議(yi)。

  作為(wei)廢(fei)酸再利(li)用(yong)定點企業,澎(peng)博(bo)公司(si)也啟動了匹配廢(fei)酸資源化利(li)用(yong)技改規(gui)劃(hua),積極響應上級(ji)部門對澎(peng)博(bo)公司(si)以廢(fei)定產、提前謀劃(hua)的要求,規(gui)劃(hua)“集成(cheng)電路行業10萬噸廢(fei)酸資源化利(li)用(yong)”技改。

  在上(shang)海市人(ren)民政(zheng)府近日印發(fa)的(de)(de)《上(shang)海市2021-2023年生態環境保護和建設(she)三(san)年行(xing)動》文件上(shang),記(ji)者也注意到相(xiang)關條(tiao)文:在環境可控的(de)(de)前提(ti)下,持續推動集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)行(xing)業廢(fei)酸(suan)等(deng)危險廢(fei)物“點(dian)對點(dian)”定(ding)向(xiang)資(zi)源化利(li)用工作(zuo),形成(cheng)穩(wen)定(ding)的(de)(de)與集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)行(xing)業未來發(fa)展相(xiang)適應的(de)(de)廢(fei)酸(suan)處置利(li)用能(neng)力。

  據悉,未(wei)來,這(zhe)種廢棄硫酸“點對點”資源化(hua)定向再(zai)利用(yong)模式,將有(you)力保障我國集成(cheng)電路(lu)行業的(de)發展,也將對其他行業的(de)危險廢物綜合利用(yong)起(qi)到借鑒和引領作用(yong)。

來源:中國環境報