中國環境報見習記者(zhe) 丁波 記者(zhe) 蔡(cai)新華 上(shang)海被賦予(yu)打(da)造集成(cheng)(cheng)電路(lu)產業高地(di)的(de)重(zhong)大(da)任務，隨(sui)著(zhu)產業規(gui)模逐步擴大(da)，廢酸環境無害(hai)化處置成(cheng)(cheng)為突出問(wen)題。據了(le)解(jie)，上(shang)海通過(guo) “點(dian)對點(dian)”資(zi)源(yuan)化定向再利用創新模式已(yi)破(po)解(jie)這一(yi)難題。

　　日前，一(yi)輛掛有危險標識的(de)罐(guan)裝運輸車(che)穩(wen)穩(wen)駛入(ru)廠區，公(gong)(gong)司專職管理員(yuan)引導車(che)輛，過磅、取(qu)樣、檢驗、聯(lian)單簽(qian)收……一(yi)系列流程后，車(che)被引導至專用卸車(che)區，車(che)上的(de)特殊液體(ti)被接(jie)收到公(gong)(gong)司的(de)原料(liao)儲料(liao)罐(guan)中，等待用于后續的(de)生(sheng)產。

　　這是(shi)記者在(zai)位于(yu)金山第(di)二工業區內的(de)上(shang)海澎博(bo)鈦白(bai)粉有限公司(si)(以下簡稱澎博(bo)公司(si))看到(dao)的(de)場景。罐裝車內裝運的(de)是(shi)液體硫酸(suan)，它的(de)特殊性(xing)在(zai)于(yu)是(shi)上(shang)游集成電路芯片生產企業使用過的(de)廢棄硫酸(suan)。

　　在現場，公司負責人(ren)何文龍告訴記者，公司是上海市集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)芯(xin)片行(xing)業(ye)產生的(de)廢(fei)(fei)硫酸(suan)資源化利用(yong)定點單位，每(mei)天安排專用(yong)車(che)輛將廢(fei)(fei)酸(suan)運回工廠，經過嚴格(ge)的(de)檢驗流程后再投(tou)入(ru)到鈦(tai)白粉生產當中，今年1月-7月已處置利用(yong)廢(fei)(fei)酸(suan)1.5萬噸(dun)。

　　新(xin)模式解決行業發(fa)展難題

　　據上海市生態環境(jing)局相關(guan)負責人(ren)介紹，上海首創的(de)廢硫(liu)酸(suan)(suan)“點對點”資源化定(ding)向再(zai)利用(yong)模式(shi)運用(yong)逐步(bu)成(cheng)(cheng)熟，目(mu)前(qian)已經(jing)全部覆(fu)蓋了上海具(ju)備回收廢酸(suan)(suan)條件(jian)的(de)集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路芯片制造企業，總體上穩定(ding)地(di)解決了上海集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路芯片制造企業廢硫(liu)酸(suan)(suan)處置問題。

　　據(ju)上海市集(ji)成(cheng)電路(lu)行業(ye)協會(hui)相關負(fu)責人介(jie)紹，集(ji)成(cheng)電路(lu)產(chan)業(ye)生(sheng)產(chan)過程中會(hui)使用(yong)大量濃硫(liu)酸(suan)，排放(fang)以硫(liu)酸(suan)物(wu)質為主，處理廢硫(liu)酸(suan)成(cheng)本很高，同時會(hui)存(cun)在一定的(de)生(sheng)態(tai)環境安全風險(xian)。這(zhe)個問(wen)題(ti)成(cheng)為阻礙(ai)行業(ye)發展(zhan)的(de)難(nan)題(ti)。

　　直面痛(tong)點(dian)。在(zai)上(shang)(shang)海市經(jing)濟和信息(xi)化委、上(shang)(shang)海市生態環境局等相關(guan)部門的(de)支持下，上(shang)(shang)海市固體(ti)廢物(wu)和化學(xue)品管(guan)理技術中(zhong)心、上(shang)(shang)海市集成電(dian)路行(xing)業協會(hui)積極探索(suo)，多(duo)次(ci)召開專家(jia)研(yan)討會(hui)論(lun)證(zheng)處置方案，并(bing)于2016年開始由中(zhong)芯國際和澎博公司(si)開展廢硫酸(suan)“點(dian)對(dui)點(dian)”資源化定向再利(li)用試點(dian)運行(xing)，經(jing)過(guo)多(duo)輪試點(dian)驗(yan)(yan)證(zheng)，最終形成較為(wei)成熟的(de)經(jing)驗(yan)(yan)。

　　去年，上(shang)海(hai)市(shi)集成電路行業(ye)協(xie)會會同(tong)多部(bu)門(men)專門(men)編(bian)寫形(xing)成了《鈦白粉用集成電路制造行業(ye)廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準(zhun)，在上(shang)海(hai)市(shi)質量技術監督部(bu)門(men)網站和國家(jia)標準(zhun)網上(shang)進行公示，全(quan)力保障廢酸源頭質量的把控。

　　多維度再利用效益明(ming)顯(xian)

　　廢(fei)硫酸“點對點”資源(yuan)化(hua)定向再利(li)用(yong)，這一(yi)新(xin)模(mo)(mo)式(shi)(shi)的(de)(de)環(huan)境效益(yi)(yi)(yi)、經濟效益(yi)(yi)(yi)和社(she)會效益(yi)(yi)(yi)都很(hen)顯著。相關專家告訴記者，模(mo)(mo)式(shi)(shi)的(de)(de)核(he)心是實(shi)現集成電路制造(zao)過(guo)(guo)程中(zhong)產(chan)生(sheng)的(de)(de)廢(fei)硫酸替代鈦白(bai)粉(fen)生(sheng)產(chan)工(gong)藝過(guo)(guo)程中(zhong)用(yong)到的(de)(de)工(gong)業硫酸。經過(guo)(guo)試點驗(yan)證，這種模(mo)(mo)式(shi)(shi)技術可行性很(hen)強，廢(fei)酸再利(li)用(yong)單位(wei)在使用(yong)廢(fei)硫酸生(sheng)產(chan)鈦白(bai)粉(fen)時，不(bu)需要調整現有工(gong)藝。同時，替用(yong)過(guo)(guo)程不(bu)增(zeng)加額外的(de)(de)環(huan)境負擔與風險，不(bu)影響產(chan)品的(de)(de)質量，符合(he)“固體廢(fei)物減量化(hua)、資源(yuan)化(hua)和無害化(hua)”原則。

　　談到經濟(ji)效益，這位專(zhuan)家給記者算了(le)(le)一筆賬：澎博公(gong)(gong)司再利用(yong)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)每噸收(shou)費500元，按照上海市往年廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)處置(zhi)(zhi)費每噸2000元計算，今年1月(yue)(yue)至7月(yue)(yue)，澎博公(gong)(gong)司累計利用(yong)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)1.5萬噸，集成(cheng)電路(lu)生產企業可(ke)節約2250萬元。同時，澎博公(gong)(gong)司也(ye)節省(sheng)了(le)(le)購置(zhi)(zhi)工業濃(nong)硫(liu)酸(suan)(suan)的費用(yong)，產廢(fei)企業和再利用(yong)企業達到了(le)(le)“雙(shuang)贏”。

　　此外，新模式還符合循(xun)環經(jing)濟產業(ye)需求(qiu)，不僅解決了廢硫酸處(chu)置出路難、處(chu)置費(fei)用(yong)高(gao)的難題，降低了企(qi)業(ye)生產成本和廢硫酸處(chu)理(li)費(fei)用(yong)，還促進了鈦(tai)白(bai)粉生產單位的升級改(gai)造、精準轉型和綠色(se)發(fa)展，為日后(hou)集成電路產業(ye)的蓬(peng)勃發(fa)展鋪平(ping)了道路。

　　深(shen)入推(tui)進“點對(dui)點”資源(yuan)化(hua)再(zai)利用(yong)

　　“在探索推(tui)行這(zhe)一新模式的過(guo)程中(zhong)，我們(men)以守好環境(jing)底線為前(qian)提(ti)(ti)，做到嚴格把關，按程序推(tui)進。”上海市生態環境(jing)局(ju)相關負責人介紹，在前(qian)期提(ti)(ti)出設(she)想并加以論證(zheng)的基(ji)礎(chu)上，他們(men)于2016年發文，同意將中(zhong)芯國際和澎博公司設(she)立為上海市首個廢硫酸(suan)定向再(zai)利用(yong)試點單位，利用(yong)芯片廢硫酸(suan)生產鈦白(bai)粉(fen)。

　　2019年11月(yue)，上海(hai)市生態(tai)(tai)環(huan)境(jing)局(ju)同意4家企(qi)業(ye)(ye)廢(fei)硫(liu)酸(suan)定向資源(yuan)化再利用備(bei)案。2020年10月(yue)，上海(hai)市生態(tai)(tai)環(huan)境(jing)局(ju)擴大廢(fei)硫(liu)酸(suan)定向資源(yuan)化再利用備(bei)案，新增4家企(qi)業(ye)(ye)，全面覆(fu)蓋上海(hai)市具備(bei)回收廢(fei)酸(suan)條件的集成電路制(zhi)造企(qi)業(ye)(ye)。

　　據(ju)介紹，目前，各(ge)(ge)方進展順利，各(ge)(ge)試點企業(ye)在(zai)嚴格執行危險(xian)廢物各(ge)(ge)項管(guan)理(li)制(zhi)度下，廢硫酸(suan)源頭品(pin)質(zhi)(zhi)得到(dao)保(bao)(bao)障(zhang)，并委托具有相關運輸資(zi)質(zhi)(zhi)的(de)單位專人專車進行運輸。澎博公(gong)司(si)(si)在(zai)廢酸(suan)使(shi)用(yong)期間，生(sheng)產運行穩定(ding)，各(ge)(ge)項污染(ran)物排放環保(bao)(bao)指(zhi)標檢測(ce)均符合排放標準。同時，澎博公(gong)司(si)(si)對生(sheng)產設備工藝進行優化改造，在(zai)末端(duan)形成了可滿足近(jin)期集成電(dian)路產業(ye)發(fa)展需求的(de)每年6萬噸廢硫酸(suan)利用(yong)能力。

　　“十四五”期間(jian)，上(shang)(shang)海的(de)集成電路產量將(jiang)(jiang)快速增(zeng)長，需處置(zhi)的(de)廢(fei)硫(liu)酸(suan)量也將(jiang)(jiang)隨(sui)之增(zeng)加。據(ju)最新統(tong)計(ji)，2020年產生(sheng)廢(fei)酸(suan)1.25萬噸(dun)，2021年預計(ji)為2.8萬噸(dun)，到(dao)2022年上(shang)(shang)海芯片企業產生(sheng)的(de)廢(fei)硫(liu)酸(suan)將(jiang)(jiang)高達6萬噸(dun)，2025年將(jiang)(jiang)達到(dao)10萬噸(dun)以上(shang)(shang)。

　　面(mian)對這一(yi)形(xing)勢(shi)，上海各(ge)相關部門召開(kai)會議制(zhi)定(ding)了“提前謀劃改(gai)造，形(xing)成需求匹配、長久穩定(ding)”的廢硫酸(suan)利用(yong)原則。上海市(shi)發改(gai)委(wei)、上海市(shi)經濟和信(xin)息化(hua)委(wei)還專(zhuan)門組織(zhi)專(zhuan)家隊伍到(dao)資源化(hua)綜合利用(yong)企(qi)業澎博公司開(kai)展現(xian)場調研(yan)，了解情況，聽取企(qi)業和行(xing)業專(zhuan)家的意見和建議。

　　作(zuo)為廢(fei)酸(suan)再利用定(ding)(ding)點企業，澎博公(gong)司(si)也啟動了匹配廢(fei)酸(suan)資源(yuan)化利用技改規(gui)劃(hua)，積極響應上級部門(men)對澎博公(gong)司(si)以(yi)廢(fei)定(ding)(ding)產、提前謀劃(hua)的要求，規(gui)劃(hua)“集成電路行業10萬噸廢(fei)酸(suan)資源(yuan)化利用”技改。

　　在上(shang)海(hai)市人民(min)政府近(jin)日印發的(de)《上(shang)海(hai)市2021-2023年生(sheng)態環境保護和(he)建設三年行(xing)動(dong)》文(wen)件上(shang)，記者也注意(yi)到相關條文(wen)：在環境可(ke)控的(de)前提下(xia)，持續推動(dong)集(ji)成(cheng)電路行(xing)業廢酸等危險廢物“點對點”定(ding)向(xiang)資(zi)源化利(li)(li)用工作，形成(cheng)穩定(ding)的(de)與(yu)集(ji)成(cheng)電路行(xing)業未來(lai)發展相適應的(de)廢酸處置利(li)(li)用能力。

　　據悉(xi)，未(wei)來，這種廢棄硫酸“點對點”資源化(hua)定(ding)向再(zai)利(li)用模式，將有力(li)保障我國集成電路行(xing)業的發展，也(ye)將對其他行(xing)業的危險廢物綜(zong)合利(li)用起到借鑒(jian)和引領作(zuo)用。

來(lai)源：中國環境報